日本廠家 TOFCO 東富科 流量計 USF600S-GC08 耐性的PFA樹脂
2024-11-29 11:20:33
admin
超聲波流量計
用于測量半導體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。本體采用了對強酸、強堿也有耐性的PFA樹脂。
USF600S系列
USF600S-GC08
USF600S-GC10
USF600SL-GC08
USF600SL-GC10
特點
搭載DSP功能，提高穩定性、響應性、耐氣泡性
用拆裝式電纜容易進行布線作業
檢測器小型化
多通信（最多可連接31臺）
性能
流體：純水，漿液，藥液（IPA，H姶O姶，H姶SO?，H?PO?，HF，HCl，O?，NH?等）
最小流量：標準。0.001L/min
測量頻道數：1頻道
數據更新周期：10ms
最高使用壓力：0.5MPa（G）
最高流體溫度：90℃
使用環境溫度：0～80℃（檢測器）/0～50℃（轉換器）無結露
測量方式：超聲波傳播時間差方式
通信功能：可連接RS-485（Modbus-RTU）最多轉換器31臺
