日本 ULVAC 愛發科 低溫泵CRYO-U系列 CRYO-U4H/CRYO-U6H/CRYO-U8H 4 型低溫泵提供最佳的排氣特性
2024-07-22 15:39:28
admin
低溫泵
CRYO-U系列
CRYO-U4H
CRYO-U6H
CRYO-U8H
CRYO-U8H-U
CRYO-U8HL
CRYO-U8HSP
CRYO-U10H
CRYO-U10HSP
CRYO-U12H
CRYO-U12HL
CRYO-U12HSP
CRYO-U16
CRYO-U16P
CRYO-U20P
CRYO-U20H
CRYO-U22P
CRYO-U22WB
CRYO-U22H
CRYO-U30H
ULVAC Cryo已應用于電子、光學、太陽能、核聚變、太空開發等眾多領域，并積累了良好的業績記錄。
CRYO-U4H
特征
4 型低溫泵提供最佳的排氣特性。
高抽速有助于提高抽氣效率和生產率。
特別適用于半導體制造設備和小型設備中的濺射工藝。
一臺壓縮機最多可運行 4 臺泵。
我們可以根據您的應用設計和制造產品。
規格
| 抽速（20℃） | 氮 | L/s | 450 |
| 氫 | 500 | ||
| 氬 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 極限壓力 | 帕 | 10 -7 | |
| 最大流量 | 氬 | Pa?L/s | 1.3× 103 |
| 排氣量 | 氬 | Pa?L | 1.0×10 7 |
| 氫 | 1.5× 105 | ||
| 冷卻時間 | 分鐘(50/60Hz) | 45/50 | |
| 質量 | 公斤 | 14.5 | |
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