日本 ULVAC 愛發科 渦輪分子泵UTM-MS系列 UTM300A-MS/UTM400A-MS/UTM800A-MS/UTM1000A-MS 泵體和控制器是分開的
2024-07-22 11:31:11
admin
渦輪分子泵
UTM-MS系列
UTM-MS
UTM300A-MS
UTM400A-MS
UTM800A-MS
UTM1000A-MS
UTM1300A-MS
UTM1500A-MS
UTM2400A-MS
UTM3400A-MS
UTM4300A-MS
新產品
這是帶有使用磁力軸承的獨立控制器的渦輪分子泵。我們擁有一系列抽速為 300 至 4000L/s 的型號?？刂破鞑糠挚梢员O控運行狀態并兼容各種通信標準。
特征
泵體和控制器是分開的，
控制器可以監控運行狀態，并兼容各種通信標準。
自由安裝方向
由于安裝方向沒有限制，因此設備設計的自由度增加。
產品陣容包括抽速 300L/s 至 4000L/s
泵轉速可在25%至100%范圍內變化，腔室壓力可調節。
高耐用性和安全性
通過了各種安全確認測試，包括大氣進入測試和著陸測試。
目的
各種設備的真空主排氣系統
- 半導體制造設備
- 氣相沉積設備
- 濺射設備
- 分析設備、實驗設備等
- 研發設備
不產生副反應產物的輕工藝主排氣系統
其他一般高真空排氣應用
表格1
| 型號 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進氣口 | VG100/ICF152 | VG150/ICF203 | VG200/ICF253 | |||||||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 排氣速度*2 | N2 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| Ar | 升/秒 | - | ||||||||
| He | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | N2 | 1×10 9 | ||||||||
| He | 8×10 4 | |||||||||
| H2 | 1×10 4 | 4× 103 | ||||||||
| 最大入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排氣口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉數 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動時間 | 5分鐘內 | |||||||||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - |
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | |
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | ||||||||
| 質量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦輔助泵 | 200L/分鐘以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| 控制器 | 配置 | 單獨放置 | ||||||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 所需最大功率 | kVA | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 變速功能 | 運行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之間變化（以 0.1% 增量設置） | |||||||||
| 外部控制 | 接點輸入/輸出 | |||||||||
| RS-232C/RS-485 | ||||||||||
| 質量 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示順序。
*2：不含保護網的值。
*3：最大進氣口壓力和最大排氣口壓力條件不能同時滿足。
表2
| 型號 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進氣口 | VG200/ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排氣口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 排氣速度*2 | N2 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| Ar | 升/秒 | - | 2000年 | 3100 | 4200 | ||
| He | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | - | |
| H2 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | N2 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| He | 1×10 4 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3×10 4 | |||
| H2 | 1×10 3 | 3×10 3 | 6× 103 | 2×10 3 | |||
| 最大入口壓力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 最大排氣口壓力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 轉數 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動時間 | 7分鐘內 | 11分鐘內 | 12分鐘內 | 18分鐘內 | |||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | 2～4 | |||
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 質量 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦輔助泵 | 600L/min以上 | 1300L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
| 控制器 | 配置 | 單獨放置 | |||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 所需最大功率 | kVA | 1.0 | 1.5 | ||||
| 變速功能 | 運行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之間變化（以 0.1% 增量設置） | ||||||
| 外部控制 | 接點輸入/輸出 | ||||||
| RS-232C/RS-485 | |||||||
| 質量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示順序。
*2：不含保護網的值。
*3：最大進氣口壓力和最大排氣口壓力條件不能同時滿足。
