日本原裝 ULVAC 愛發科 真空泵HR HR60/HR90/HR300 達到比HR系列更高的溫度
2024-07-19 10:41:14
admin
多級羅茨型干真空泵
HR/UR系列
HR
通過在高溫范圍內均勻加熱泵體，
泵能夠將CVD、蝕刻等過程中產生的升華廢氣物質以氣態排出。
特征
可以將在高溫區域的均熱CVD、蝕刻等中產生的升華廢氣以氣態排出。
UR系列可以達到比HR系列更高的溫度。
配備氦氣密閉電機，密封結構，安全性極高。
瞬時停電對策
我們采取了防止1000毫秒內瞬時停電的措施。
優異的耐腐蝕性
主要部件采用特殊表面處理，表面硬度高，耐腐蝕性優異。當腐蝕性氣體排出時，減少泵內部的腐蝕。
通訊功能
可以讀取有關泵運行狀態和警告/警報歷史記錄的數據。通過使用專用軟件并與計算機通信，可以進行集中監控。
目的
化學氣相沉積設備
蝕刻設備
灰化裝置
酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等
規格
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 使用泵 | 數據恢復計劃 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 抽速 | 50赫茲 | 立方米/小時 （升/分鐘） | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60赫茲 | 立方米/小時 （升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 極限壓力 | 帕 | 五 | 0.67 | ||||||
| 最大入口壓力 （吸入壓力） | 大氣壓*1 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出壓力） | 帕 | 1~大氣壓 | |||||||
| 進氣口（CE規格） | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | |||||
| 排氣口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | 交流電壓(赫茲) | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 當前值 | 穩定狀態 | A | 7.1 （200V 時） | 11.2 （200V 時） | 7.8 （200V 時） | 12.9 （200V 時） | 15.4 （200V 時） | ||
| 最大值 | A | 7.3 （200V 時） | 11.8 （200V 時） | 8.1 （200V 時） | 13.8 （200V 時） | 18.9 （200V 時） | |||
| 冷卻水暫壓 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水進出水壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| 氮氣吹掃 | 軸 | 可持續發展管理 | 五 | ||||||
| 加斯巴拉 | 可持續發展管理 | 0~45 | |||||||
*1 對于 HR300、HR600 和 HR1200，請勿在吸入壓力 200Pa 或更高的情況下連續運行。
HR系列型號：
HR60
HR90
HR300
HR600
HR1200
